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    2018年

  • 201812

    首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
  • 201810

    12英寸ALD通过客户端14nm工艺验证

    2017年

  • 201712

    首台量产型3D NAND PECVD 出厂到客户端
  • 201710

    PF-300T在中芯国际生产线量产流片突破一百万片
  • 20179

    SAP系统上线
  • 20178

    完成第三轮融资

    2016年

  • 201612

    拓荆新厂投入使用
  • 20164

    十一五重大专项通过国家验收
  • 20163

    首台12英寸ALD出厂到客户端

    2015年

  • 201512

    获批国家十三五科技重大专项
  • 20159

    完成第二轮增资,获国家集成电路产业投资基金战略投资
  • 20153

    PF-300T在中芯国际生产线突破一万片

    2014年

  • 201412

    获批辽宁省薄膜装备工程研究中心
  • 20148

    中芯国际首台量产机台PF-300T的设备订单
  • 20145

    完成公司首轮增资

    2013年

  • 201312

    PF-300T通过中芯国际产品线测试
  • 20135

    首台12寸PF-300销售

    2012年

  • 201212

    推出12英寸多反应腔PF-300T设备

    2011年

  • 201110

    首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
    成功研制2-12英寸单腔SC-300设备

    2010年

  • 201010

    12英寸PECVD样机1装调完成
  • 20104

    沈阳拓荆科技有限公司成立

    2009年

  • 20099

    12英寸PECVD设计工作启动

    2008年

  • 200812

    获批国家十一五科技重大专项
  • 20084

    首台CC1-150销售

    2007年

  • 20076

    首台CC1-150装调完成

    2006年

  • 20067

    PECVD事业部成立于中科院沈阳科仪

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2018年
  • 12

    2018
    首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
  • 10

    2018
    12英寸ALD通过客户端14nm工艺验证
2017年
  • 12

    2017
    首台量产型3D NAND PECVD 出厂到客户端
  • 10

    2017
    PF-300T在中芯国际生产线量产流片突破一百万片
  • 9

    2017
    SAP系统上线
  • 8

    2017
    完成第三轮融资
2016年
  • 12

    2016
    拓荆新厂投入使用
  • 4

    2016
    十一五重大专项通过国家验收
  • 3

    2016
    首台12英寸ALD出厂到客户端
2015年
  • 12

    2015
    获批国家十三五科技重大专项
  • 9

    2015
    完成第二轮增资,获国家集成电路产业投资基金战略投资
  • 3

    2015
    PF-300T在中芯国际生产线突破一万片
2014年
  • 12

    2014
    获批辽宁省薄膜装备工程研究中心
  • 8

    2014
    中芯国际首台量产机台PF-300T的设备订单
  • 5

    2014
    完成公司首轮增资
2013年
  • 12

    2013
    PF-300T通过中芯国际产品线测试
  • 5

    2013
    首台12寸PF-300销售
2012年
  • 12

    2012
    推出12英寸多反应腔PF-300T设备
2011年
  • 10

    2011
    首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
    成功研制2-12英寸单腔SC-300设备
2010年
  • 10

    2010
    12英寸PECVD样机1装调完成
  • 4

    2010
    沈阳拓荆科技有限公司成立
2009年
  • 9

    2009
    12英寸PECVD设计工作启动
2008年
  • 12

    2008
    获批国家十一五科技重大专项
  • 4

    2008
    首台CC1-150销售
2007年
  • 6

    2007
    首台CC1-150装调完成
2006年
  • 7

    2006
    PECVD事业部成立于中科院沈阳科仪

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